Keithley 4200A-SCS 參數分析(xī)儀

簡介(jiè)

Keithley 4200A-SCS 參數分析(xī)儀使(shǐ)用 4200A-SCS參數分析(xī)儀（參數測試儀）加(jiā)快各類材(cái)料、半導體器件和*工藝的開(kāi)發，完(wán)成制程控制、可(kě)靠性分析(xī)和故障分析(xī)。4200A-SCS是業內性能領xian電學特性參數分析(xī)儀 ，提(tí)供同步電流電壓曲線測試 (I-V曲線測試)、電容-電壓曲線測試 (C-V曲線測試) 和超快脈衝 I-V曲線測量 。

Keithley 4200A-SCS 參數分析(xī)儀

特點(diǎn)

參數查看 ，快速清晰。

推進大膽發現從未如此容易。4200A-SCS 參數分析(xī)儀從設置到運行檢定測試的時間減少高(gāo)達 50％，從而實(shí)現無與lun比的測量和分析(xī)能力。此外，嵌入式測量專業知識提(tí)供無與lun比的測試指導，並讓(ràng)您對z終結(jié)果充滿信息 。

特點(diǎn)

• 用於 DC IV 、CV 和脈衝 IV 測量類型的高(gāo)級測量硬件

• 立即使(shǐ)用 Clarius 軟件中(zhōng)所含的數百種用戶可(kě)修改應用程序測試開(kāi)始測試

• 自(zì)動實(shí)時參數提(tí)取、數據繪圖 、分析(xī)函數

準確的 C-V 表(biǎo)徵(zhēng)

使(shǐ)用吉時利新的電容-電壓單元(yuán) (CVU) 4215-CVU 測量一(yī)位數飛法 。通過將 1 V AC 電源集成到吉時利行業領xian的 CVU 架構(gòu)中(zhōng)，4215-CVU 可(kě)在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率(lǜ)下(xià)進行低噪(zào)聲電容測量。

特點(diǎn)

• 同類產品中(zhōng)shou款能夠驅動1 V AC 電源電壓的 CV 表(biǎo)

• 1 kHz 頻率(lǜ)，分辨率(lǜ)從1 kHz 到 10 MHz

• 測量電容、電導和導納(nà)

• 使(shǐ)用 4200A-CVIV 多路(lù)開(kāi)關z多可(kě)測量四(sì)個通道(dào)

測量、 切換、 重復 。

4200A-CVIV 多通道(dào)切換模(mó)塊自(zì)動在 I-V 和 C-V 測量之(zhī)間切換 ，無需重新布線或抬起探頭端部 。 與競爭產品不同，四(sì)通道(dào) 4200A-CVIV 顯示器提(tí)供本地可(kě)視查看 ，可(kě)快速完(wán)成測試設置，並在出現意想不到的結(jié)果時輕鬆排除故障 。

特點(diǎn)

• 無需重新布線即可(kě)將 C-V 測量移動到任何設備終端

• 用戶可(kě)配置低電流功能

• 個性化輸出通道(dào)名稱

• 查看實(shí)時測試狀態

穩定的低電流測量 ，適用於 I-V 檢定

使(shǐ)用 4201-SMU 和 4211-SMU 模(mó)塊 ，您可(kě)以在高(gāo)電容系統中(zhōng)實(shí)現穩定的低電流測量。4200A-SCS 有(yǒu)四(sì)種型號的源測量單位 (SMU) 可(kě)供選擇 ，可(kě)通過定制滿足您所有(yǒu)的 I-V 測量需求 。通過提(tí)供現場可(kě)安裝(zhuāng)單元(yuán)和可(kě)選的預放(fàng)大器模(mó)塊，Keithley 可(kě)確保(bǎo)您獲得z準確的低電流測量 ，而停機(jī)時間很少甚至沒有(yǒu) 。

特點(diǎn)

• 不必將儀器送回工廠即可(kě)增加(jiā) SMU

• 進行 飛安測量

• 多達 9 個 SMU 通道(dào)

• 針對長電纜或大卡盤進行了優化

帶分析(xī)探測器和低溫(wēn)控制器的集成解決(jué)方案

4200A-SCS 參數分析(xī)儀支持許多手動和半自(zì)動晶片探測器和低溫(wēn)控制器 ，包括 MPI 、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫(wēn)控制器。

特點(diǎn)

• “點(diǎn)擊"測試定序

• “手動"探測器模(mó)式測試探測器功能

• 假探測器模(mó)式無需移除命令即可(kě)實(shí)現調試

降低成本並保(bǎo)護(hù)您的投(tóu)資

吉時利保(bǎo)障計(jì)划以按需服務事件的一(yī)小部分成本提(tí)供快速、高(gāo)質量的服務。

生物傳感器檢定

生物傳感器或 bioFET 將對分析(xī)物的生物響應轉換為電信號 。集成到 4200A-SCS 中(zhōng)的 Clarius 軟件包括一(yī)個用於測試 bioFET 的項(xiàng)目。以此為起點(diǎn)檢定生物傳感器的傳輸和輸出特性，並從這裡展開(kāi)工作。

飛法電容測量

使(shǐ)用 4215-CVU 模(mó)塊測量亞毫微微法拉電容。通過驅動 1 V AC，在測量 1 fF 電容器時 ，4215-CVU 的噪(zào)聲水平可(kě)低至 6 attofarad。這只是 Clarius 軟件隨附的用於測量電容和提(tí)取重要(yào)參數的數十種應用程序之(zhī)一(yī)。

特點(diǎn)

• 內置飛法測量功能

• 從 1kHz 到 10MHz 的 10 ,000 個頻率(lǜ)步進

• 使(shǐ)用用戶庫定制任何設備的任何測試

半導體和 NVM 可(kě)靠性

通過全面脈衝 I-V 檢定在測試中(zhōng)利用新技術。 4200A-SCS 為新 NVRAM 技術提(tí)供支持和即用型測試 ，從浮動門(mén)電路(lù)閃存到 ReRAM 和 FeRAM，不一(yī)而足 。 電流和電壓雙源和測量功能同時支持瞬態和 I-V 域檢定。

提(tí)供適合高(gāo)阻抗(kàng)應用的 C-V 測量功能

採用 Keithley 的自(zì)定義極低頻 C-V 技術分析(xī)高(gāo)電阻樣本的電容。 該(gāi)技術可(kě)通過僅使(shǐ)用源測量單元(yuán) (SMU) 儀器實(shí)現應用，同時可(kě)與 4210-CVU 結(jié)合使(shǐ)用 ，執行更(gèng)高(gāo)頻率(lǜ)測量 。

特點(diǎn)

• .01 ~ 10 Hz 頻率(lǜ)範圍，1 pF ~ 10 nF 靈敏度

• 3½ 位典型分辨率(lǜ)，z小典型值 10 fF

使(shǐ)用長電纜或電容式夾具時進行測試

當測試需要(yào)非常長的電纜或具有(yǒu)較高(gāo)電容的夾具時，請使(shǐ)用 4201 或4211-SMU
。這些 SMU 非常適合連(lián)接 LCD 測試站、探測器 、開(kāi)關矩陣或任何其他大型或複雜的測試儀。現場可(kě)安裝(zhuāng)版本使(shǐ)您無需將設備返回服務中(zhōng)心即可(kě)增加(jiā)容量 。

材(cái)料電阻率(lǜ)

使(shǐ)用集成了 SMU 的 4200A-SCS ，可(kě)通過四(sì)點(diǎn)同軸(zhóu)探頭或範德堡法輕鬆測量電阻率(lǜ) 。 內含測試可(kě)自(zì)動重復執行範德堡計(jì)算 ，節省您寶(bǎo)貴的研究時間 。 10aA 的z大電流分辨率(lǜ)和大於 10­­­­16 歐(ōu)姆的輸入阻抗(kàng)可(kě)提(tí)供更(gèng)準確和精(jīng)准的結(jié)果。

MOSFET 檢定

4200A-SCS 可(kě)容納(nà)所有(yǒu)必要(yào)的儀器 ，用於通過組件或晶圓測試執行全面的 MOS 設備檢定。 內含測試和項(xiàng)目可(kě)以解決(jué) MOSCap 的氧化物厚度 、門(mén)限電壓、摻雜濃度 、移動離子濃度等(děng)問題 。 只需觸摸一(yī)個儀器盒中(zhōng)的按鈕 ，即可(kě)運行所有(yǒu)這些測試。